Class100 潔凈烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、TP、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
 

　　產(chǎn)品特點(diǎn)：
 

　　1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達(dá)到Class 100
 

　　2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺本身所產(chǎn)生微塵；
 

　　3.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國進(jìn)口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng)，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：3"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門)
 

　　4.強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到*溫度控制精度。
 

　　設(shè)備簡介：
 

　　1、箱體結(jié)構(gòu)：
 

　　烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成，結(jié)構(gòu)合理，外觀美觀大方；
 

　　箱體材料：外箱采用SUS304 ，1.5mm之拉絲不銹鋼，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，可防止微塵；
 

　　內(nèi)膽材料：采用優(yōu)質(zhì)SUS304，2.0mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE；
 

　　中桶材料：采用優(yōu)質(zhì)SUS304，2.0mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密封加工(防污染)。
 

　　2、溫控系統(tǒng)：
 

　　采用日本“神港”溫度控制器，控制器LED數(shù)字顯示及設(shè)定、PID自 動(dòng)演算、薄膜設(shè)定，準(zhǔn)確度±0.3%FS。
 

　　訊號來源：采用PT100熱電阻±0.5%。
 

　　輸出被控制組件：SSR無接點(diǎn)訊號輸出。
 

　　3、完善的安全保護(hù)措施：
 

　　漏電斷路器、控制線路保險(xiǎn)絲裝置、超溫防止保護(hù)裝置、電熱過電流保護(hù)裝置、馬達(dá)過電流保護(hù)、機(jī)臺異常蜂鳴器警示 逆向防止器、門面安全開關(guān)
 

　　4、選購設(shè)備：
 

　　可程式溫控器        無紙記錄儀        三色指示燈          烘烤架